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一．設備概述：
真空擴散爐水平對置采用電腦工控機軟件控制方式，大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的3-6英寸工藝硅片在真空狀態下的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝。
二．設備參數類型：
| 方式： | 左/右手操作方式，大工作臺面（側面采用高效凈化） |
可配工藝管數量： | 1-4管系統 |
凈化臺潔凈度： | 100級（10000級廠房） |
氣體流量控制： | 均用MFC控制 |
送取片方式： | 自動推拉,采用Sic漿推拉舟方式 |
使用類型： | 3-6寸爐管 |
工作溫度： | 600～1290℃ |
爐管有效口徑: | ￠150-240mm |
總功率：T | 18-28KVA/管 保溫功率：8-15KVA/管 |
三相五線制： | 380V±10%，50Hz±10%，次級線不小于35平方高溫線 |
報警: | 具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
恒溫區長度及段數： | 400-1100mm（3-5段控溫） |
控溫精度： | ±0.5℃（≧1000℃） |
單點溫度穩定性： | ±1℃/12h |
控溫方式： | 工控機 + PLC控制 + 觸摸屏 |
熱偶類型: | 熱電偶采用S/R型，每管Spike 4-10支熱偶 |
真空度： | 5*10-2MPa |
最大可控升溫范圍： | (500～1290℃)0—15℃/min |
最大可控降溫范圍： | (1290～500℃)0—10℃/min |
工藝氣體： | N2/H2/Ar/O2(可根據工藝要求選配） |
真空機組： | 采用直連機械泵+羅茨泵(可根據工藝要求選配） |
冷卻水： | 壓力0.2—0.4MPa |
設備總外形尺寸： | 根據設備配置不同,尺寸有所不同 |
三．主要構成：
| 1、 | 設備主機 |
2、 | 加熱系統 |
3、 | 排風冷卻系統 |
4、 | 排毒箱（和設備主機做為一體） |
5、 | 凈化工作臺 |
6、 | 控制系統 |
7、 | 自動Sic漿推拉舟機構 |
8 | 真空系統 |
四．設備主要特點和優勢
1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
2★采用可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償，避免環境溫度變化，對爐膛溫度產生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制，避免馬達丟步，運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期，自動校準位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量控制精確，采用模擬信號閉環控制，強弱電分開，各種數據交互采用標準總線，提高抗干擾能力，保證數據安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報警功能及安全保護功能；
9★恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
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