產品詳情:

全系列半導體及光伏行業臥式擴散爐等熱處理設備的高質量加熱爐體熱場,滿足4-18寸晶圓及電池片制造工藝,獨有的自動化制作工藝技術,專業的生產制造理念,造就加熱爐所具有更寬的工藝溫度范圍及更高的恒溫區精度、穩定性,以及更長的使用壽命
產品說明:
爐體類型
~氣體快速升降溫型(專利技術)
~水冷型
~高溫型
~普通型
控溫精度:                         
< 1290℃/±0.35-0.5 ℃
< 1100℃/±0.5-1 ℃
< 800℃/±1 ℃
保溫棉材質及包裝形態:英國Morgan、軟態包裹式/真空成型式
加熱材料品牌:瑞典KANTHAL A-1、APM、HRE加熱絲等
產品應用:臥式擴散爐、氧化爐、LPCVD、PECVD、光伏擴散爐等全系列爐型
匹配設備品牌:Tempress、Semco、Kokusai、ASM、TEL、KE、BTU、等國內外知名品牌設備商

熱門標簽:臥式爐專用加熱爐體
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