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          電話:400-0532-778
          擴散爐

          全自動擴散爐

          Abstract: 全自動擴散爐
          產品詳情:


           

          一.設備概述:

          全自動擴散爐采用電腦工控機軟件控制方式,該設備用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝。設備主要適合于3-6英寸工藝硅片的處理,具有多條工藝曲線,調用方便快捷;運行中,具有停電記憶功能觸摸微機界面,操作方便;具有超溫保護功能。 
           
           二.設備主要特點和優勢
           1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間; 
           2★采用可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化; 
           3★程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間; 
           4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇; 
           5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾; 
           6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制,避免馬達丟步,運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差; 
           7★氣體流量控制精確,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能; 
           8★具有多種報警功能及安全保護功能;
           9★恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;

          三.設備參數類型:

          方式:

          左/右手操作方式,大工作臺面(側面采用高效凈化)

          可配工藝管數量:

          1-5管系統

          凈化臺潔凈度:

          100級(10000級廠房)

          氣體流量控制: 

          均用MFC控制

          送取片方式: 

          自動推拉,采用碳化硅漿推拉舟,軟著陸方式 

          使用類型:

          3-6寸爐管

          工作溫度: 

          600~1290℃ 

          爐管有效口徑:

          ¢150-300mm

          總功率:

          18-28KVA/管   保溫功率:8-15KVA/管 

          三相五線制: 

          380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線 

          報警:

          具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能 

          恒溫區長度及段數: 

          400-1100mm(3-5段控溫) 

          控溫精度: 

          ±0.5℃(≧1000℃) 

          單點溫度穩定性: 

          ±1℃/12h
          + / - 1 ℃ / 12 h

          控溫方式: 

          工控機 + PLC控制 + 觸摸屏 

          熱偶類型:       

          熱電偶采用S/R型,每管Spike 4-10支熱偶 

          最大可控升溫范圍: 

          (500~1285℃)0--15℃/min

          最大可控降溫范圍: 

          (1285~500℃)0--10℃/min

          設備總外形尺寸: 

          根據設備配置不同,尺寸有所不同 

          四.主要構成:

          1、

          設備主機            

          2、

          加熱系統

          3、

          排風冷卻系統 

          4、

          排毒箱(和設備主機做為一體)

          5、

          凈化工作臺

          6、

          控制系統

          7、

          自動碳化硅漿推拉舟機構


           

          熱門標簽:全自動擴散爐
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