Abstract: 全自動擴散爐
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產品詳情:


 

一.設備概述:

全自動擴散爐采用電腦工控機軟件控制方式,該設備用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金和燒結等工藝。設備主要適合于3-6英寸工藝硅片的處理,具有多條工藝曲線,調用方便快捷;運行中,具有停電記憶功能觸摸微機界面,操作方便;具有超溫保護功能。 
 
 二.設備主要特點和優勢
 1★具有強大的軟件功能,友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數,并可隨時顯示各種工藝狀態;配有故障自診斷軟件,可大大節省維修時間; 
 2★采用可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化; 
 3★程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間; 
 4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇; 
 5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾; 
 6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環控制,避免馬達丟步,運行顫抖現象。推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差; 
 7★氣體流量控制精確,采用模擬信號閉環控制,強弱電分開,各種數據交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數據安全;氣體打開具有緩啟動功能; 
 8★具有多種報警功能及安全保護功能;
 9★恒溫區自動調整,串級控制,可準確控制反應管的實際工藝溫度;

三.設備參數類型:

方式:

左/右手操作方式,大工作臺面(側面采用高效凈化)

可配工藝管數量:

1-5管系統

凈化臺潔凈度:

100級(10000級廠房)

氣體流量控制: 

均用MFC控制

送取片方式: 

自動推拉,采用碳化硅漿推拉舟,軟著陸方式 

使用類型:

3-6寸爐管

工作溫度: 

600~1290℃ 

爐管有效口徑:

¢150-300mm

總功率:

18-28KVA/管   保溫功率:8-15KVA/管 

三相五線制: 

380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線 

報警:

具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能 

恒溫區長度及段數: 

400-1100mm(3-5段控溫) 

控溫精度: 

±0.5℃(≧1000℃) 

單點溫度穩定性: 

±1℃/12h
+ / - 1 ℃ / 12 h

控溫方式: 

工控機 + PLC控制 + 觸摸屏 

熱偶類型:       

熱電偶采用S/R型,每管Spike 4-10支熱偶 

最大可控升溫范圍: 

(500~1285℃)0--15℃/min

最大可控降溫范圍: 

(1285~500℃)0--10℃/min

設備總外形尺寸: 

根據設備配置不同,尺寸有所不同 

四.主要構成:

1、

設備主機            

2、

加熱系統

3、

排風冷卻系統 

4、

排毒箱(和設備主機做為一體)

5、

凈化工作臺

6、

控制系統

7、

自動碳化硅漿推拉舟機構


 

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