特點優勢:
可實現溫度快速冷卻。1100-800℃-7-10 ℃的降溫速率,大大縮短生產工藝時間,提高生產效率,解決常規水冷系統的能耗因水垢堵塞弊端。
LPCVD擴散爐
砷化鎵多晶合成爐
紅外線烘干爐
氫氧合成擴散爐
氫氣燒結爐
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