擴散爐是半導體生產線前處理的重要工藝設備之一。它用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光纖中的擴散、氧化、退火、合金化和燒結。
該爐由控制系統、船艇進出系統、爐子加熱系統和氣體控制系統組成。
控制系統
控制部分包括:溫度控制器、電源組件、超溫保護組件和系統控制。
系統的控制部分有四個獨立的計算機控制單元，分別控制推舟、爐溫和各層爐管的氣路，是擴散/氧化系統的控制中心。
輔助控制系統，包括推船控制裝置、保護電路、電路切換控制、三相電源指示燈、照明、凈化、排氣開關等。
先進的擴散爐控制系統已更新或升級為微機控制，管機與上位機之間的通信通過串行RS232或網線實現?？刂栖浖嗷赪indows系統，大大提高了其實用性和可操作性，可實現日志記錄、曲線記錄、程序編輯、遠程控制等多種功能。
船只進出系統
水平擴散爐舟系統有兩種進出方式:1)懸臂槳系統；2)軟著陸系統。
懸臂槳系統的結構相對簡單。在SiC槳將舟和硅晶片運送到應時爐管中之后，它停留在應時爐管中。直到該過程結束，SiC槳攜帶舟和硅晶片并緩慢返回到其原始位置。懸臂槳葉系統的缺點是槳葉對爐管溫度的均勻性有一定的影響。此外，工藝氣體也會沉積槳葉并影響顆粒。
軟著陸系統比懸臂螺旋槳系統更先進。SiC推進器進入應時工藝爐管后，推進器自動下沉放下應時舟和硅片，然后慢慢運行回原點。最后，應時爐管的門自動關閉。軟著陸系統的優點是沒有SiC槳葉對腔體的影響，使溫度均勻性更好，減少了工藝氣體在SiC槳葉上的沉積，導致顆粒更少。
推舟凈化柜的頂部設有照明燈；它是一種高效過濾器，前端為水平層流，四層推舟螺桿，導軌副傳動系統，SiC懸臂槳座。絲杠右端裝有驅動步進電機，導軌兩端為限位開關。機柜下部裝有控制電路轉接板和凈化風扇。
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