<th id="cc4dx"></th>

    1. <progress id="cc4dx"><big id="cc4dx"></big></progress>
      1. <em id="cc4dx"><acronym id="cc4dx"></acronym></em>
        <tbody id="cc4dx"><pre id="cc4dx"></pre></tbody>
        <span id="cc4dx"></span>
          電話:400-0532-778
          擴散爐

          立式真空擴散爐

          立式真空擴散爐
          產品詳情:

          立式真空擴散爐
          本設備主要應用于集成電路、分立器件、電力電子、光電子等行業硅片的擴散、燒結、以及熱處理退火等在真空狀態下的工藝操作。
           立式、環壁加熱、鐘罩升降式、絲杠自動上下升降送料,真空室內配有工件支架
           功能特點:
           ★全英文windows操作界面,可編輯參數,操作方便。 
           ★可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步。 
           ★工藝曲線的自動運行控制功能。 
           ★自動運行中可暫停/繼續運行功能。 
           ★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。  
           ★智能升降溫斜率制功能。 
           ★PID參數自整定功能。  
           ★系統故障的檢測與報警功能。 
           ★停電后斷點繼續運行功能。 
           ★工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質量流量控制器) 
           ★實時監測真空度數據 
           ★可根據用戶的特殊要求增減或開發相應的功能。
           
           三.設備參數類型:

          方式:

          立式 

          可配工藝管數量:

          1管系統

          凈化臺潔凈度:

          100級(10000級廠房) 

          氣體流量控制: 

          均用MFC控制 

          送取片方式: 

          上下自動升降,采用Sic漿推拉舟 

          使用類型: 

          4-12寸爐管 

          工作溫度: 

          600~1290℃ 

          爐管有效口徑:

          ¢180-500mm

          總功率: 

          18-55KVA/管   保溫功率:8-25KVA/管 

          三相五線制: 

          380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線 

          報警:

          具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能 

          恒溫區長度及段數: 

          400-800mm(3-5段控溫) 

          控溫精度: 

          ±0.5℃(≧1000℃) 

          單點溫度穩定性: 

          ±1℃/12h

          控溫方式:

          工控機 + PLC控制 + 觸摸屏 

          熱偶類型:

          熱電偶采用S/R型,每管Spike 4-10支熱偶 

          最大可控升溫范圍: 

          (500~1300℃)0--15℃/min

          最大可控降溫范圍: 

          (1300~500℃)0--10℃/min

          工藝氣體: 

          N2/H2/Ar/O2(可根據工藝要求選配) 

          真空機組:

          采用直連機械泵+羅茨泵(可根據工藝要求選配) 

          冷卻水:

          壓力0.2—0.4MPa

          設備總外形尺寸: 

          根據設備配置不同,尺寸有所不同 

           


          熱門標簽:立式真空擴散爐
          留言板
          聯系我們

          青島育豪微電子設備有限公司??
          地址:青島市城陽區流亭工業園協榮路3號
          全國咨詢電話:陳慶建 13864877323 李宗鮮 13805325274
          網址:http://www.xensorem.com

          郵箱:qdyuhao_chen@126.com qdyuhao_lzx@126.com

          版權所有:青島育豪微電子設備有限公司  手機版

          将军在上全集免费播放在线观看
          <th id="cc4dx"></th>

          1. <progress id="cc4dx"><big id="cc4dx"></big></progress>
            1. <em id="cc4dx"><acronym id="cc4dx"></acronym></em>
              <tbody id="cc4dx"><pre id="cc4dx"></pre></tbody>
              <span id="cc4dx"></span>