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本設備主要應用于集成電路、分立器件、電力電子硅片擴散、燒結、以及熱處理退火等工藝操作。
立式、環壁加熱，鐘罩升降式，絲杠自動上下升降送料。
功能特點：
★全英文windows操作界面，可編輯參數，操作方便。
★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步。
★工藝曲線的自動運行控制功能。
★自動運行中可暫停/繼續運行功能。
★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數自整定功能。
★系統故障的檢測與報警功能。
★停電后斷點繼續運行功能。
★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質量流量控制器）。
★可根據用戶的特殊要求增減或開發相應的功能。
三．設備參數類型：
| 方式： | 立式 |
可配工藝管數量： | 1管系統 |
凈化臺潔凈度： | 100級（10000級廠房） |
氣體流量控制： | 均用MFC控制 |
送取片方式： | 上下自動升降,采用Sic漿推拉舟 |
使用類型： | 4-12寸爐管 |
工作溫度： | 600～1290℃ |
爐管有效口徑: | ￠180-500mm |
總功率： | 18-55KVA/管 保溫功率：8-25KVA/管 |
三相五線制： | 380V±10%，50Hz±10%，次級線不小于35平方高溫線 |
報警: | 具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
恒溫區長度及段數： | 400-800mm（3-5段控溫） |
控溫精度： | ±0.5℃（≧1000℃） |
單點溫度穩定性： | ±1℃/12h |
控溫方式： : | 工控機 + PLC控制 + 觸摸屏 |
熱偶類型: | 熱電偶采用S/R型，每管Spike 4-10支熱偶 |
最大可控升溫范圍： | (500～1300℃)0--15℃/min |
最大可控降溫范圍： | (1300～500℃)0--10℃/min |
工藝氣體： | N2/H2/Ar/O2(可根據工藝要求選配） |
設備總外形尺寸： | 根據設備配置不同,尺寸有所不同 |
版權所有：青島育豪微電子設備有限公司 
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