產品詳情:

一.設備概述:  程控擴散爐采用儀表程序升溫控方式操作,該設備用于半導體等行業的3-4英寸工藝硅片擴散、氧化、退火、合金等工藝。 
 
 二.設備類型:

方式:

手動操作方式,小工作臺面

可配工藝管數量:

1-4管系統

凈化臺潔凈度:

1000級(10000級廠房)

氣體流量控制:

均用進口浮子流量計控制

送取片方式:

手動推拉

使用類型:

3-4寸爐管

三.設備主要參數:

工作溫度:

300~1290℃

爐管有效口徑:

¢150-190mm

總功率:

15-24KVA/管  保溫功率:6-10KVA/管

三相五線制:

380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線

報警:

具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖等功能

恒溫區長度及段數:

400-1100mm(3-5段控溫)

控溫精度:

±0.5℃(≧1000℃)

單點溫度穩定性:

±1℃/72h

控溫方式:

高精度儀表程序控制

熱偶類型:

熱電偶采用K/S/R型,每管Spike 4-6支熱偶

最大可控升溫范圍:

(500~1285℃)0--15℃/min

最大可控降溫范圍:

(500~1285℃)0--10℃/min

設備總外形尺寸:

根據設備配置不同,尺寸有所不同

四.主要構成:

1、

設備主機

2、

加熱系統

3、

排風冷卻系統

4、

排毒箱(和設備主機做為一體)

5、

控制系統

  1. 設備主要特點和優勢

 1★程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間; 
 2★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾; 
 3★氣體流量控制精確,采用浮子流量計控制; 
 4★具有多種報警功能及安全保護功能;
5★恒溫區手動調整,可準確控制反應管的實際工藝溫度;


熱門標簽:程控擴散爐
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