可配工藝管數量：

1-4管系統

凈化臺潔凈度：

1000級（10000級廠房）

氣體流量控制：

均用進口浮子流量計控制

送取片方式：

手動推拉

使用類型：

3-4寸爐管

爐管有效口徑:

￠150-190mm

總功率：

15-24KVA/管  保溫功率：6-10KVA/管

三相五線制：

380V±10%，50Hz±10%，次級線不小于35平方高溫線

報警:

具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖等功能

恒溫區長度及段數：

400-1100mm（3-5段控溫）

控溫精度：

±0.5℃（≧1000℃）

單點溫度穩定性：

±1℃/72h

控溫方式：

高精度儀表程序控制

熱偶類型:

熱電偶采用K/S/R型，每管Spike 4-6支熱偶

最大可控升溫范圍：

(500～1285℃)0--15℃/min

最大可控降溫范圍：

(500～1285℃)0--10℃/min

設備總外形尺寸：

根據設備配置不同,尺寸有所不同

2、

加熱系統

3、

排風冷卻系統

4、

排毒箱（和設備主機做為一體）

5、

控制系統