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          電話:400-0532-778
          合金爐

          LED外延片退火爐

          LED外延片退火爐
          產品詳情:

          ◆ 全中文操作界面,可編輯參數,操作簡便                 

          ◆ 可保存多條工藝曲線,每條曲線可設置多步 

          ◆ 工藝曲線的自動運行控制功能                           

          ◆ 自動運行中可暫停/繼續運行功能             

          ◆ 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能             

          ◆ 智能升降溫斜率控制功能

          ◆ PID參數自整定功能                 

          ◆ 可存儲多組PID參數供系統運行調用功能

          ◆ 系統故障的檢測與報警功能                             

          ◆ 系統誤差修正(單點或多點動態修正功能)

          ◆ 智能懸臂推拉舟控制功能                                

          ◆ 工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質量流量控制器)

          ◆ 停電后斷點繼續運行功能等等                           

           該系統可根據用戶的特殊要求增減或開發相應的功能。 

          ◆ 工作溫度:200-1000℃(最高溫度小于800℃)

          ◆控制精度:≤±1.0℃

          ◆恒溫區長度:定制

          ◆開機重復性:≤±1.0℃

          ◆冷態真空度:10-1Pa

          ◆石英真空室內徑:定制

          ◆控制儀表:日本島電公司原裝進口控溫儀

          ◆環境溫度:10~45℃

          ◆相對濕度:≤85%

          ◆供電電源:三相五線380V±10% 50Hz

          ◆可用氣氛:H2,N2 

          ★可配工藝管數量:1~4管/臺;       

          ★工作溫度范圍:200~1000℃;

          ★恒溫區長度及精度:300~900mm     600~1000℃±0.5℃;

          ★單點溫度穩定性:600~1000℃±0.5℃/24h;    

          ★最大可控升溫速度:15℃/min

          ★最大降溫速度:15℃/min 


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